微觀裝置的制造及其處理技術
  • 分層微結構、制備分層微結構的模具及該模具的制備方法與流程
    本發明涉及一種分層微結構的制備方法以及一種通過順序壓印法形成微結構的模具,更具體地說,涉及一種具有較大比表面積的分層微結構的制備方法。自20世紀80年代以來,大多數的工業零件都做得更小了。在這種趨勢下,越來越需要形成微米或納米尺寸的結構(下文稱為“微結構(microstructure)”)...
  • 背孔引線式壓力傳感器的制作方法
    本實用新型涉及微電子機械系統及壓力傳感器領域,尤其涉及一種背孔引線式壓力傳感器。隨著微機電系統技術的發展,壓力傳感器的制造已經成為一項較為成熟的技術。壓力傳感器可分為壓阻式、電容式、壓電式等,其中壓阻式壓力傳感器由于具有體積小、靈敏度高、線性度好等優點,被應用于航空、航海、石油化工、動力機...
  • 一種密封硅結構電信號引出方法與流程
    本發明屬于mems(微機電系統)制造,涉及一種基于硅硅鍵合技術的密封硅結構電信號引出方法。mems器件是mems是微機電系統micro-electromechanicalsystems的縮寫,是一門融合了微電子、材料、機械、物理、化學、微加工技術等多個學科的高新技術,其應用領域涵蓋...
  • 一種諧振式MEMS壓力傳感器的制作方法
    本發明涉及mems傳感器領域,尤其涉及一種諧振式mems壓力傳感器。壓力傳感器是能感受壓力信號,并能按照一定的規律將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號的器件或裝置?;谖C電系統(micro—electro-mechanical-systems,mems)技術的硅微機械諧振壓力傳感器是目前精...
  • 表面增強拉曼散射基底及其制備方法和原位快速檢測方法與流程
    本發明涉及檢測,具體涉及一種表面增強拉曼散射基底及其制備方法和原位快速檢測方法。非法添加劑多指代食品中的非法添加劑。一般而言,不屬于傳統上認為是食品原料的、不屬于批準使用的新資源食品的、不屬于衛生部門公布的藥食兩用或作為普通食品管理物質的、未列入各國食品添加劑的和其他法律法規允許使...
  • 一種手性光子晶體薄膜及其制備方法和應用與流程
    本發明屬于材料領域,涉及一種手性光子晶體薄膜及其制備方法和應用。光子晶體是一種具有光子帶隙的周期性電介質結構。在光子帶隙波段,光波無法在此周期性結構中傳播,而是被反射。自然界中很多動植物外表的顏色是由光子晶體效應產生,這些結構為人們設計并制備高效光學器件提供了借鑒(tadepalli,si...
  • 一種圓形微納通道的制備方法及其產品與流程
    本發明涉及微納通道制備領域,具體涉及一種圓形微納通道的制備方法及其產品。微納通道在生物技術方面具有廣泛應用,微納通道的制造方法包括化學腐蝕、激光刻蝕、靜電紡絲等。其中靜電紡絲技術利用高壓電場,使聚合物熔液形成帶電射流由噴嘴噴出,射流在飛向基板的過程中干燥、固化,落至基板時形成各種熔體紡絲。...
  • 一種微機電系統紅外探測器及其制作方法與流程
    本發明涉及一種紅外探測器及其制作方法,具體設計一種等離子體壓電諧振式微機電系統紅外探測器及其制作方法,屬于微機電系統紅外探測器的。紅外探測技術由于具有環境適應性強、隱蔽性好、識別能力強、體積較小、重量輕、功耗低、光譜響應范圍寬等優點,在非接觸測溫、醫學檢測、夜視等領域均有應用。在種...
  • 透射式MEMS芯片及照明系統的制作方法
    本發明涉及智能照明,尤其涉及一種透射式mems芯片及一種包括該透射式mems芯片的照明系統。mems(micro-electro-mechanicalsystem,微機電系統)是指由半導體材料或其它適用于微加工的材料構成的可控的微機械結構系統,mems微鏡的基本原理是通過靜電(或磁...
  • 多功能傳感器的制作方法
    本實用新型涉及傳感器,更為具體地,涉及一種多功能傳感器。mems的英文全稱為micro-electro-mechanicalsystem,中文名稱為微機電系統,是指尺寸在幾毫米甚至更小的高科技裝置,其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統。mems技術因具有微型化、智...
  • 一種新型壓力芯片保護蓋的制作方法
    本實用新型涉及壓力傳感器殼體領域,尤其是一種新型壓力芯片保護蓋。目前mems壓力傳感器蓋子一般為金屬蓋、塑料小圓孔蓋或者圍壩,當傳感器需要用膠水全包封時,金屬蓋、塑料圓孔蓋由于工藝限制,需要先在芯片點膠,后貼蓋子,因而想要做到全包封極其困難,膠多則會溢膠,膠爬到沾蓋區域會影響貼蓋子,膠少則...
  • MEMS傳感器組件制造方法、以及以該法制造的MEMS傳感器組件與流程
    本公開內容主要涉及用于制造mems傳感器組件的方法,以及以該方法制造的mems傳感器組件?,F今,諸如筆記本電腦、平板電腦之類的便攜式計算設備十分普遍,諸如智能手機之類的便攜式通信設備也是如此。然而,這樣的設備中留給麥克風或揚聲器的內部空間十分有限。因此,麥克風和揚聲器尺寸越來越小,并且變得...
  • 微納米結構組件制造方法、以及以該法制造的微納米結構組件與流程
    本公開內容主要涉及用于制造微納米結構組件的方法,以及以該方法制造的微納米結構組件?,F今,諸如筆記本電腦、平板電腦之類的便攜式計算設備十分普遍,諸如智能手機之類的便攜式通信設備也是如此。然而,這樣的設備中留給麥克風或揚聲器的內部空間十分有限。因此,麥克風和揚聲器尺寸越來越小,并且變得越來越緊...
  • 電容-懸臂梁式電場測量傳感器件的制備工藝流程的制作方法
    本發明涉及半導體微加工工藝傳感器加工領域,特別是一種電容-懸臂梁式微型電場測量傳感器件的制備工藝流程。構建泛在能源物聯網是目前能源領域發展的重要目標。為滿足泛在能源物聯網對于信息測量的需求,需要構建與之配套的無線傳感網絡。電壓/電場測量是能源特別是電力行業重要的測量對象,通過對設備或網絡電...
  • MEMS膜片及MEMS傳感器芯片的制作方法
    本發明涉及微機電系統(mems,micro-electro-mechanicalsystem),特別涉及一種mems膜片及mems傳感器芯片。微機電傳感器已廣泛應用于各種聲學接收器或力的傳感器上,其體積小、低耗電、高靈敏度等特性,成為設計上的目標,且根據理論模擬的結果可知,殘留應力...
  • 一種微型三維疊裝的MEMS諧振器件的制作方法
    本發明涉及mems諧振器件,具體涉及一種微型三維疊裝的mems諧振器件。mems(micro-electro-mechanicalsystems)是微機電系統的縮寫,mems芯片制造利用微電子加工技術,特別是三維微細體加工技術,制造出各種微型機械結構敏感芯片,再與專用集成電路集成,...
  • 鍵合墊層系統、氣體傳感器和用于制造氣體傳感器的方法與流程
    本發明涉及一種鍵合墊層系統、一種氣體傳感器和一種用于制造氣體傳感器的方法。雖然可以使用任意的微機械構件,但本發明和基于本發明的問題參照具有氣體傳感器芯片的構件闡釋。在制造微機械氣體傳感器時,通常在制成具有懸置的介電膜片(在該膜片中存在由鉑制成的加熱結構并且在該膜片上還存在叉指電極結構)的微...
  • 用于與流體的體積流相互作用的MEMS換能器及其制造方法與流程
    本發明涉及一種用于與流體的體積流相互作用的mems換能器,例如mems揚聲器、mems麥克風或mems泵,尤其涉及一種包括集成電子電路的mems換能器。本發明還涉及一種包括這種mems換能器的設備,并且涉及一種生產mems換能器的方法。另外,本發明涉及芯片上的mems-cmos(互補金屬氧化物半導...
  • 微流控芯片的制作方法
    本發明涉及具有輸送流體的流路結構的微流控芯片。目前,已知各種微流控芯片。例如,在下述專利文獻1中記載的基因檢查用微反應器中,從主流路分支出的多個分支流路中分別設置有多個反應槽。這里,為了防止污染(contamination),獨立地構成有每個樣品的試劑輸送系統部件和控制檢測部件。通過在各反...
  • 基于MEMS工藝的堿金屬原子微型氣室的制備方法與流程
    本發明涉及mems領域,具體為一種基于mems工藝的堿金屬原子微型氣室的制備方法。原子氣室是眾多原子器件的核心部分如原子鐘、磁力儀等。原子氣室是在一定形狀的通光殼體內,密閉封裝一定成分和數量的緩沖氣體以及堿金屬原子。根據實際需求,每個氣室的用途不相同則其腔體內封裝的堿金屬種類、氣體組分和壓...
技術分類
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